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雙電測四探針測試儀/四探針測試儀

產(chǎn)品名稱:雙電測四探針測試儀/四探針測試儀
型  號:H17300
 

雙電測四探針測試儀/四探針測試儀 型號:H17300

H17300
型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計算機控制下行兩次電測量,能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響行動態(tài)的自動修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些,用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實現(xiàn)的。

   H17300
型雙電測四探針軟件測試系統(tǒng)是個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)行統(tǒng)計分析。
    測試程序控制四探針測試儀行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)行各種數(shù)據(jù)分析
術(shù)參數(shù):

 測量范圍

 電阻率:0.001200Ω.cm(可擴展);  
 
方塊電阻:0.012000Ω/□(可擴展);

 
電導(dǎo)率:0.0051000 s/cm;

 
電阻:0.001200Ω.cm;

可測晶片厚度

 ≤3mm

可測晶片直徑

 140mmX150mm(S-2A型測試臺);
 200mmX200mm(
S-2B型測試臺);
 400mmX500mm(
S-2C型測試臺)

恒流源

 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

 量程及表示形式:000.00199.99mV;    
 
分辨力:10μV;
 
輸入阻抗:>1000MΩ
 
精度:±0.1% ;
 
顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;性、量程自動顯示;

四探針探頭基本標(biāo)

 間距:1±0.01mm;
 
針間緣電阻:≥1000MΩ;
 
機械游移率:≤0.3%;

 
探針:碳化鎢或速鋼Ф0.5mm;
 
探針壓力:516 牛頓(總力);

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
(
JJG508-87)

 0.1Ω、、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1

整機測量*相對誤差

(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±4%

整機測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

 ≤4%

計算機通訊接口

 并口

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

 溫度:23±2
 
相對濕度:≤65%;
 
無頻干擾;
 
無強光直射;

 

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